發(fā)布時間:
2020
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07
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24
來源:
73
干式真空泵在一個特殊的行業(yè)中應用廣泛，為了配合行業(yè)的使用，方便用戶的選擇，廠家分為多種，主要有以下形式。 雙圓裂片式真空泵 雙圓裂片式真空泵的修訂與目前最流行、應用最廣泛的羅茨泵很相似。 實際上，一些最初的干泵設置修正思想是把羅茨泵重疊起來。 這樣的多級修訂使瓦斯氣體通路變得相當復雜，各級需要大的流量氮瓦斯氣體發(fā)揮稀釋和隔離的作用。 此外，為了達到良好的真空度，對各級的間隙要求非常嚴格。 當然，該設置修訂會增加內部壓縮比，因此電功耗相對較低。 三葉圓裂片式真空泵 三葉裂片式真空泵設置修訂和雙圓裂片式設置修訂的原理完全相同，只是在一周的時間里把瓦斯氣體分成三個，而不是像雙圓裂片式那樣分成兩個。 這兩種設計有相同的優(yōu)點和缺點。 為了進一步降低電功耗，根據傳動部的制造商選擇了2個直流馬達，但這也會導致扭矩的減少，重啟的能力下降。 與雙圓裂片式設定訂正同樣，三葉圓裂片式設定訂正的各段為了發(fā)揮稀釋和隔離的作用，需要較大的流量氮瓦斯氣體。 組合式(羅茨+爪)真空泵 組合式(羅茨+爪)的設定改正是羅茨提高低壓下的抽氣效率，爪提高高壓下的抽氣效率。 其基本原理和瓦斯氣體通道與先前介紹的圓裂片式設置修訂完全相同。 有些廠家將其最終段改為星形設置訂正，一轉即可將氣體分為五個，如三圓裂片式設置訂正可分為三個。 類似地，在許多處理中，在組合設置修訂的每級中，大流量氮瓦斯氣體需要用作稀釋和隔離。 外部壓縮型螺桿式真空泵 在外部壓縮型螺桿式設定修訂中，使用一對等間距螺桿。 由此，將內部壓縮抑制在最小限度，并且使瓦斯氣體定通路最短也變得最簡單。 由此，氣體在泵內的停留時間也變得最短。 該設定糾正減少了內部的壓縮比，相對提高了電功耗，但在許多復雜的半導體工藝中呈現出極高的穩(wěn)定性。 這種單段設定修正對氮瓦斯氣體的使用量的要求也非常小、簡單，因此在不同的工藝中的兼容性良好。 在很多清洗過程中不...