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2019
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真空系統(tǒng)用何種真空泵，首先應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)的要求,其次應(yīng)對(duì)該泵性能特點(diǎn)有詳細(xì)了解,比較了各種泵的優(yōu)缺點(diǎn)后,再?zèng)Q定之, 這樣才能選用得適當(dāng)。為便于選擇所要使用的真空泵,現(xiàn)將我國(guó)生產(chǎn)的各種類型真空泵總的情況歸納總結(jié)一下,簡(jiǎn)略比較它們的特性和優(yōu)缺點(diǎn),看來(lái)是必要的。 一、油封機(jī)械泵 現(xiàn)生產(chǎn)的2X型旋片泵均為雙級(jí),抽速為0.5~150升/秒,有全系列的產(chǎn)品。 滑閥泵分單級(jí)(H型)、雙級(jí)(2H型)。 抽速:H型為8 ~ 600升/秒;2H型為8~ 70升/秒。亦有成系列生產(chǎn)的產(chǎn)品。 余擺線式泵抽速可很大,體積小,目前正在試生產(chǎn)。 這類泵均用作獲得低真空,或作高真空泵的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。帶有氣鎮(zhèn)裝置的可抽除潮濕空i。但極限真空比抽干燥空氣(不用鎮(zhèn)時(shí))低-個(gè)數(shù)量級(jí)。泵的抽速系指進(jìn)口壓強(qiáng)在760托時(shí)之抽速,當(dāng)系統(tǒng)壓強(qiáng)下降時(shí)抽速亦下降,直至接近該泵的極限真空,抽速亦接近于零。其抽降系數(shù)有一定規(guī)定。 二、機(jī)械增壓泵(羅茨泵) 工作壓強(qiáng)范圍10~5x10-4托,常用范圍2~5x10-3托,抽速范圍150~ 2000升/秒,我國(guó)已有成系列產(chǎn)品。這種泵最大抽速在2托~10-2托之間,需要前級(jí)泵,不能直接向大氣排氣。極限真空隨前級(jí)泵變化。與油增壓泵相比,工作壓強(qiáng)范圍較寬,最大排氣壓強(qiáng)較高(機(jī)械增壓泵10~30托,油增壓泵1 ~ 2托) ,返流油蒸氣很少,用它抽除含有水蒸等可凝性氣體時(shí)較合適。 三、油增壓泵 工作壓強(qiáng)范圍1 ~1x10-4托,常用范圍在0.1~ 1x10-2托,抽速范圍200~40000升/秒,彌補(bǔ)了機(jī)械泵、擴(kuò)散泵在此壓強(qiáng)范圍內(nèi)抽速小的缺陷。對(duì)惰性氣體與其他氣體有相同的抽速。 四、油擴(kuò)散泵 普通油擴(kuò)散泵的工作壓強(qiáng)范圍10-2~5x10-7托,常用范圍10-8~ 5x10-...