半導體行業水環真空泵系統應用案例

半導體行業的真空應用工藝：

1、半導體行業中的蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，機械手，自動化真空清掃等鍵合工序里所需用真空為生產真空（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部分還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。

2、工藝真空主要利用負壓吸附進行工件搬運或夾持，清掃真空主要利用負壓與大氣壓差進行液體或顆粒的清除或輸送，此類應用中液環真空泵和多級離心風機是非常關鍵的生產輔助設備。

半導體真空系統應用要求及案例：

1、應用要求——半導體行業的工藝特性，要求真空系統絕對無油，對設備的穩定性和可靠性要求也比較高。

2、應用案例——湖南某電氣公司擁有半導體生產線，形成從設計、制造、封裝與測試等全套能力，電氣汽車組件配套建設項目，選用了2套康斯頓2BV水環真空系統，（水環真空泵安全可靠，100%無油，完全滿足半導體行業的工藝真空要求），目前設備安裝調試完畢，機組運行穩定。

該項目全部產能將用于新能源汽車用基材及組件生產，恒才機電康斯頓真空泵系統的應用，整體提升了電氣功率半導體工藝平臺及生產制造能力，真空泵系統/真空泵工藝可滿足新能源汽車領域巨大市場需求，進一步做大做強做優功率半導體產業。

隨著高鐵技術自主化進程，尤其芯片和半導體的國產化，未來深圳恒才機電將持續跟進，專注于真空泵系統方案、真空系統配套設備、設計、售后、維保安裝等服務，為客戶提供創新的產品和服務，助力半導體產業快速穩健發展。

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