發(fā)布時間:
2019
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來源:
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市場上真空泵那么多,選擇時需要注意什么?下面我們就來告訴大家這些注意點. 1.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。 例如，真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg，所選真空泵的真空度必須至少為5 × 10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級。 2.正確選擇真空泵的工作點。 每個泵都有一定的工作壓力范圍，例如：擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5 × 10-4?5 × 10-6mmHg。因此，泵的工作點應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇，并且不應(yīng)在10-8mmHg的環(huán)境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作，但其工作壓力應(yīng)小于10-20mm 10-5mmHg。 3.真空泵應(yīng)該能夠在真空設(shè)備的工作壓力下清除真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。 4.正確組合真空泵。 由于真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時一個泵無法滿足泵送要求，因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當(dāng)結(jié)合使用時，真空裝置將具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，因此需要前級泵，因此必須將這些泵組合在一起。 5.真空設(shè)備油污的要求。 如果嚴格要求設(shè)備無油，則應(yīng)選擇各種無油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴格，您可以選擇擁有一個油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，擋板，油阱等，也可以達到清潔真空的要求。 6.了解所泵送氣體的成分。 該氣體不包含可冷凝的蒸氣，粉塵和腐蝕...