2020
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1.真空泵的工作壓力應(yīng)滿足極限真空和真空設(shè)備工作壓力的要求。例如，真空鍍膜要求真空度為110-5毫米汞柱，所選真空泵的真空度至少應(yīng)為510-6毫米汞柱。通常，所選泵的真空度比真空設(shè)備的真空度高一半到一個數(shù)量級?！ ?.正確選擇真空泵的工作點。每臺泵都有一定的工作壓力范圍，例如擴(kuò)散泵為10-3 ~ 10-7兆歐。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的泵速隨壓力變化，其穩(wěn)定工作壓力范圍為510-4~510-6mmHg。因此，泵的工作點應(yīng)選擇在此范圍內(nèi)，不允許在10-8兆歐以下長時間工作。另一個例子是鈦升華泵可以在10-2mHg下工作，但是其工作壓力應(yīng)該小于110-5mHg?！ ?.真空泵應(yīng)能在其工作壓力下排出真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體?！ ?.真空泵的正確組合。因為真空泵具有選擇性泵送，有時一個泵不能滿足泵送要求，需要組合和補充幾個泵來滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對于氫氣具有較高的泵送速度，但是不能泵送氦氣，而三極濺射離子泵(或雙極不對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣具有一定的泵送速度，并且兩者的結(jié)合將導(dǎo)致真空裝置具有更好的真空度。此外，一些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要一個前置泵，所以所有的泵都需要組合使用?！ ?.真空設(shè)備對油污染的要求。如果設(shè)備嚴(yán)格要求無油，應(yīng)選用各種非油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇油泵，...