發(fā)布時間:
2019
-
10
-
04
來源:
67
1,排氣路徑短，減少反應物沉積 干式螺旋真空泵相較于其他形式的真空泵，因氣體于泵浦內(nèi)的傳輸路徑最短，最不易產(chǎn)生反應物沉積的現(xiàn)象。 2,線形密封性佳，泵性能更優(yōu) 轉(zhuǎn)子密封線形，轉(zhuǎn)子密封性佳，轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果。由于噴合間隙較大，泵較不易因制程氣體沉積而卡死，轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。 3,結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，維修容易 螺桿真空泵因需利用一對轉(zhuǎn)子互相噴合達到密封效果，結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計，降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風險。且因其結(jié)構(gòu)單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。 4,微電腦操作，遠端監(jiān)控，保護周全 微電腦操控器提供真空泵最簡單的操作方式并能顯示泵浦完整的運轉(zhuǎn)狀態(tài)，方便使用者對泵浦應用狀況進行調(diào)整，在泵浦產(chǎn)生問題前進行預防保養(yǎng)。遠端監(jiān)控系統(tǒng)能提供使用者方便的監(jiān)控工具，使用者不需到現(xiàn)場即能查詢泵浦之運轉(zhuǎn)狀況。 4,性能優(yōu)勢 (1)專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對殼體造成腐蝕。 (2)移動式操作界面，方便操作;顯示真空泵實際工作狀況，并可選中英兩種文字顯示，切實貼近客戶。 (3)軍規(guī)電源接頭，安全方便。 (4)氮氣加熱器，使真空泵更適應于CVD、PECVD等半導體制程。 (5)控制訊號及通訊信號接口，可對真空泵進行遠端監(jiān)控。