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半導(dǎo)體工藝真空主要用于鍵合工藝，如蒸發(fā)、濺射、等離子體化學(xué)氣相沉積、真空干法刻蝕、真空吸附、測(cè)試設(shè)備、真空清洗等。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過(guò)程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對(duì)生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個(gè)安全注意事項(xiàng)如下: 1.定期清潔真空泵和其他附件、過(guò)濾器和管道，以避免過(guò)壓?！ ≡诎雽?dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過(guò)程中通過(guò)反應(yīng)室和真空泵時(shí)，介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如，四氯化硅和氧氣在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成鹽酸。假設(shè)是油封機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假定形成顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)，它們可能阻塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力上升或過(guò)壓，并造成更大的風(fēng)險(xiǎn)。因此，有必要及時(shí)清理，必要時(shí)設(shè)置過(guò)濾設(shè)備?！ ?.有效稀釋有害氣體的濃度 半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒的有害氣體。因此，在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)提取這些介質(zhì)時(shí)，有必要防止在真空泵或排氣過(guò)程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如，當(dāng)與空氣或氧氣接觸時(shí)，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會(huì)引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時(shí)，也會(huì)發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此，當(dāng)半導(dǎo)體真空泵抽取這些介質(zhì)時(shí)，在壓縮之前，需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到當(dāng)前條件下的安全范圍。 3.注意氧氣的濃度 如...
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活塞真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵通過(guò)活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)來(lái)吸入、壓縮和排出氣體。然而，活塞是一個(gè)運(yùn)行部件，所以活塞的磨損是不可避免的。隨著維修次數(shù)的增加，工作真空度會(huì)不斷降低，直至不能滿足生產(chǎn)要求。這種泵的致命缺點(diǎn)是工作噪音大，耗油量大，故障率高。一般來(lái)說(shuō)，需要設(shè)置備用機(jī)器，這實(shí)際上增加了設(shè)備投資和運(yùn)行成本。此外，如果這種泵用于泵送可冷凝氣體，如水蒸汽，潤(rùn)滑油將被乳化。因此，它們只能用于泵送不凝性(空氣)氣體，而不能泵送帶有顆粒的介質(zhì)，這限制了它們的應(yīng)用范圍?！ ∷h(huán)真空泵通過(guò)安裝在泵殼內(nèi)的帶有多個(gè)葉片的偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，向泵殼內(nèi)噴水，形成與泵殼同心的水環(huán)，水環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成周期性的容積變化，以吸入、壓縮和排出氣體。其缺點(diǎn)是真空度低;不能用粒狀介質(zhì)吸取;轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)不容易進(jìn)行防腐處理，因此腐蝕介質(zhì)不能被吸入?！ ∈褂眠@些真空泵時(shí)應(yīng)該注意什么?首先，必須檢查和確定每個(gè)過(guò)程所需的真空度。因?yàn)槊總€(gè)過(guò)程都有自己合適的真空范圍，所以必須仔細(xì)研究和確定?！ ≡诖_定工藝所需真空度的基礎(chǔ)上，檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來(lái)說(shuō)，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵低50%。 檢查并確定工藝所需的提取類(lèi)型和體積。因?yàn)槿绻盟偷臍怏w類(lèi)型與泵中的液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)就會(huì)受到污染。同時(shí)，必須考慮確定適當(dāng)?shù)呐艢鈺r(shí)間和提取過(guò)程中產(chǎn)...
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一，安裝真空泵軸承和泵軸零件 1.將泵軸和軸承從支架的非驅(qū)動(dòng)端安裝到支架中。通過(guò)敲擊軸承的外環(huán)，可以將泵軸安裝到支架中。注意:撞擊時(shí)，墊塊或套筒工具應(yīng)放在軸承的端面上，以防損壞軸承。 2.安裝非驅(qū)動(dòng)端軸承蓋和鎖緊螺栓?！ ?.安裝墊圈、驅(qū)動(dòng)端軸承蓋和鎖緊螺栓。用手轉(zhuǎn)動(dòng)泵軸，泵軸應(yīng)平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)。如果泵軸轉(zhuǎn)動(dòng)緊密，稍微松開(kāi)螺栓，調(diào)整泵軸使其平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)?！ ?.安裝平鍵、聯(lián)軸器泵軸部分、聯(lián)軸器壓板和鎖緊螺栓。 二，安裝真空泵泵體和機(jī)械密封部分 當(dāng)機(jī)械密封靜環(huán)部件安裝在泵體上時(shí)，機(jī)械密封靜環(huán)部件可以被水浸濕，然后用手均勻地壓入泵體中。小心不要推得太緊!組裝后，檢查機(jī)械密封的靜環(huán)部分是否與泵體裝配緊密。 將泵體緊緊地壓在電機(jī)上，并擰緊螺栓。小心不要損壞機(jī)械密封的靜環(huán)部分。 將墊圈安裝到電機(jī)后蓋中，然后將泵體、電機(jī)前蓋、軸承、電機(jī)轉(zhuǎn)子和內(nèi)軸承蓋部件安裝到電機(jī)殼體中，并鎖定螺栓?！ ∫来伟惭b電機(jī)風(fēng)扇、擋圈、電機(jī)護(hù)罩和螺釘。安裝完成后，泵的電機(jī)風(fēng)扇護(hù)罩端將朝下并垂直于地面，準(zhǔn)備安裝泵的其他部件?！ ∪?安裝真空泵葉輪 1、葉輪壓在軸承上時(shí)，應(yīng)保證葉輪與泵體前端面保持0.05 ~ 0.15毫米的間隙.水平放置真空泵并檢查間隙。如果間隙太小，可能導(dǎo)致真空泵機(jī)械故障;如果間隙太大，真空泵的泵送速率將降低。 2.調(diào)整葉輪和泵體前端面之間的間隙后，用深度百分比測(cè)量泵體外緣和葉輪平面之間的深度差，以...
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在安裝和使用干式真空泵之前，客戶(hù)應(yīng)該仔細(xì)閱讀常見(jiàn)的安全問(wèn)題。如果他們不掌握這些內(nèi)容，就不容易掌握機(jī)械泵運(yùn)行中存在的風(fēng)險(xiǎn)。這種內(nèi)容在機(jī)械泵的說(shuō)明書(shū)中經(jīng)常詳細(xì)介紹。如果您沒(méi)有它，您可以根據(jù)本文了解它: 1.不安裝防護(hù)罩，不要操作干式真空泵。在拆卸和更換保護(hù)蓋之前，斷開(kāi)電機(jī)的開(kāi)關(guān)電源。在沒(méi)有正確安裝保護(hù)蓋的情況下，接近旋轉(zhuǎn)部件是相當(dāng)危險(xiǎn)的。 2.當(dāng)物質(zhì)是具有足夠氧氣的物質(zhì)時(shí)(二氧化碳的比例超過(guò)21%)，請(qǐng)不要操作泵，除非有合適的稀有氣體和吹掃系統(tǒng)軟件。在沒(méi)有適當(dāng)清洗的情況下，吸入被礦物發(fā)動(dòng)機(jī)油或非塑性流體力學(xué)污染的足夠的氧物質(zhì)將導(dǎo)致爆炸。 3.采取預(yù)防措施，防止在清除過(guò)程中長(zhǎng)期暴露在焊接煙塵或材料中?！ ?.從干式真空泵排出的蒸汽不需要進(jìn)入封閉或不自然通風(fēng)的區(qū)域。如果提取的蒸汽含有對(duì)自然環(huán)境有害的成分，在排放到空氣中之前必須妥善解決。 可以看出，在使用干式進(jìn)口真空泵之前，人們必須掌握許多安全問(wèn)題，但所有這些都是非常必要的，并且直接關(guān)系到實(shí)際操作人員的生命安全。因此，我們不必忽視這個(gè)警告來(lái)確保人和機(jī)器的安全。
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磁力驅(qū)動(dòng)泵用靜密封代替動(dòng)密封，徹底解決了泄漏問(wèn)題。主要用于運(yùn)輸有毒、有害、易燃、易爆、腐蝕性和貴重液體。目前，生產(chǎn)中廣泛使用的磁力驅(qū)動(dòng)泵有磁力驅(qū)動(dòng)離心泵。下面介紹目前使用的磁力驅(qū)動(dòng)離心泵。 1.設(shè)備的基本知識(shí) 1.1工作原理 電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器連接到外部磁性轉(zhuǎn)子，葉輪連接到內(nèi)磁轉(zhuǎn)子。內(nèi)磁轉(zhuǎn)子和外磁轉(zhuǎn)子之間設(shè)有完全密封的隔離套，隔離套緊固在泵蓋上，泵輸送的介質(zhì)以靜態(tài)密封的方式密封在泵體內(nèi)，不會(huì)泄漏出去。當(dāng)外磁轉(zhuǎn)子在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，由于內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子的永磁磁極之間的相互吸引和排斥，帶動(dòng)內(nèi)磁轉(zhuǎn)子一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)泵軸轉(zhuǎn)動(dòng)，達(dá)到輸送液體的工作目的?！ ?.2設(shè)備結(jié)構(gòu) 磁力泵主要由外殼(泵蓋、泵體等)組成。外磁轉(zhuǎn)子，內(nèi)磁轉(zhuǎn)子，隔離套，軸，軸承等?！ ?.3主要績(jī)效指標(biāo) 主要參數(shù)包括:流量、升力、轉(zhuǎn)速、功率和效率?！ ?.4設(shè)備的用途 用于運(yùn)輸有毒、有害、易燃、易爆、腐蝕性和貴重液體?！ ?.開(kāi)始和停止的步驟 磁力泵嚴(yán)格要求在運(yùn)行過(guò)程中不要空轉(zhuǎn)?？辙D(zhuǎn)一小段時(shí)間，甚至幾秒鐘，都會(huì)導(dǎo)致泵軸斷裂，軸承和隔離套損壞，內(nèi)外磁鋼消磁?！ 〈帕Ρ幂斔偷慕橘|(zhì)不允許含有鐵磁性雜質(zhì)和硬雜質(zhì)。磁力泵不允許在低于30%的額定值流量下運(yùn)行。 2.1啟動(dòng)前的檢查和準(zhǔn)備 (1)準(zhǔn)備必要的驅(qū)動(dòng)工具:氣門(mén)鉤、扳手等?！ ?2)檢查泵各連接部分的螺絲是否擰緊，電機(jī)接地線是否完好，閥門(mén)是否靈活好用?！ ?3)帶滾動(dòng)軸承...
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立式多級(jí)離心真空泵在安裝過(guò)程中會(huì)因疏忽而導(dǎo)致安裝不完全，影響將來(lái)的真空泵性能。接下來(lái)，我們將分析立式多級(jí)離心真空泵下的常見(jiàn)安裝錯(cuò)誤和相關(guān)解決方案。 一、 水管路更多的彎頭 如果在水管路上使用更多的彎頭，將會(huì)增加一些防水性。另外，肘部應(yīng)沿筆直的方向旋轉(zhuǎn)，不允許其沿水平方向旋轉(zhuǎn)，以免積聚空氣?！ 《?dāng)設(shè)備進(jìn)入水管路時(shí)，水平部分會(huì)水平或向上上升 這樣做會(huì)在進(jìn)水管中積聚空氣，降低水管和水真空泵的真空度，減少水真空泵的吸水頭，并減少出水量。正確的方法是：其水平部分應(yīng)略微偏向水源，不應(yīng)水平，也不得向上提起?！ ∪?、變成水口直接連接到彎頭 這使得水流不均勻地分布通過(guò)彎頭并進(jìn)入葉輪。當(dāng)進(jìn)水管的直徑大于水真空泵水口的直徑時(shí)，應(yīng)安裝異徑管。某些偏頭痛減壓器平面應(yīng)安裝在頂部，斜面應(yīng)安裝在下部。否則，會(huì)收集空氣，減少水的輸出或無(wú)法抽水，并且會(huì)發(fā)出撞擊聲。如果進(jìn)水管和水真空泵入口水口的直徑是平的，則應(yīng)在水真空泵入口水口和彎頭之間增加一條單向管。直管的長(zhǎng)度不得小于水管直徑的2至3倍?！ ∷?、出水管高于出水池的正常水位 如果輸出水口高于水箱中的正常水位，則增加水真空泵的揚(yáng)程，但將其降低流量。如果由于地形條件，有必要使水口高于水箱的水位，則應(yīng)在水管口安裝彎頭和短管，以使水管虹吸并下降水口的高度?！ ∥?、進(jìn)水管的進(jìn)水口 ①入口管的入口水口與入口池的底部和壁之間的距離小于入口水口的直徑。如果池塘底部有污...
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1.真空泵高溫原因分析 (1)電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。 (2)風(fēng)機(jī)葉片數(shù)量少，產(chǎn)生的風(fēng)量小?！ ?3)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓大，風(fēng)量小?！ ?4)真空泵電機(jī)母線的電壓為380伏，由于電纜壓降和負(fù)載分布不均勻，電機(jī)實(shí)際施加的電壓僅為365伏，電壓低導(dǎo)致運(yùn)行電流大?！ ?5)電機(jī)附有灰塵和油污，降低了散熱能力?！ ?.真空泵高溫對(duì)策 電機(jī)功率和轉(zhuǎn)速與真空泵匹配，不能改變。風(fēng)扇安裝在電機(jī)的主軸上。電機(jī)的轉(zhuǎn)速?zèng)Q定風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，不能更換。雖然增加風(fēng)扇葉片的數(shù)量可以起到一定的作用，但當(dāng)葉片數(shù)量增加時(shí)，動(dòng)態(tài)平衡就不容易找到。如果對(duì)準(zhǔn)不好，電機(jī)的振動(dòng)會(huì)增加?！ ?1)將原來(lái)的風(fēng)扇罩延長(zhǎng)40厘米，安裝一個(gè)與風(fēng)扇罩內(nèi)徑相同的軸流風(fēng)扇。軸流風(fēng)機(jī)的電機(jī)功率為850瓦，轉(zhuǎn)速為1489轉(zhuǎn)/分，電壓為380伏，原風(fēng)機(jī)不變。軸流風(fēng)扇由另一個(gè)電源控制，并且軸流風(fēng)扇不與主電機(jī)互鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)啟動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)，真空泵關(guān)閉30分鐘后關(guān)閉軸流風(fēng)機(jī)，使主電機(jī)完全冷卻?！ ?2)定期清除電機(jī)上的灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力; (3)將真空泵母線的電壓調(diào)整到400伏 3.真空泵高溫影響 (1)軸流風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速高，風(fēng)壓和風(fēng)量大，冷卻效果大大增強(qiáng)。在相同的環(huán)境溫度和負(fù)載電流下，主電機(jī)溫度降低12℃。夏季主真空泵電機(jī)的溫度沒(méi)有再次超過(guò)極限?！ ?2)減緩主電機(jī)絕緣老化速度，延長(zhǎng)主電機(jī)使用壽命。 (3)軸流風(fēng)機(jī)...
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