干式螺桿真空泵是一種在泵殼內利用一對螺桿高速同步反轉的吸氣設備。

　　1.特征

　　高可靠性。干式螺桿真空泵零件少，無易損件，運行可靠，使用壽命長。

　　操作和維護方便。

　　良好的動平衡。干式螺桿真空泵無不平衡慣性力，機器高速平穩(wěn)運行。

　　適應性強。干式螺桿真空泵具有強制氣體傳輸?shù)奶攸c，在較寬的壓力范圍內可以保持較高的泵送速度，并且排量幾乎不受排氣壓力的影響。

　　多相混合運輸。因為干式螺桿真空泵轉子的齒表面之間存在小間隙，所以它可以去除腐蝕性、毒性、含塵、可冷凝的蒸汽和其他氣體。

　　2.應用

　　干式螺桿真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領域。在半導體工業(yè)中，它用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻和生產等離子體。

　　用于真空采集;在化學工業(yè)中，用于真空蒸餾和溶劑萃取以有效回收溶劑，在脂肪酸生產中用于消除水污染和消除噴射器堵塞;在制藥工業(yè)中，它用于回收液體藥物和藥物中間體，為人造器官的生產提供清潔和無菌的條件，并回收氣體消毒劑;在食品工業(yè)中，它用于香料和香精的濃縮，食品包裝等。

　　應用范圍非常廣泛。

　　具體應用：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑回收、油氣回收、工廠一般真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)等行業(yè)可以抽出普通空氣、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，特別是滿足環(huán)境對獲得清潔真空的更高要求。具體應用：真空鍍膜、真空蒸餾、真空干燥、單晶提拉、特種氣體制造、離子刻蝕，等。

　　干式真空泵用于氨綸、芳綸、纖維、冶金等紡織、冶金等行業(yè)的相關工藝，包括真空消泡和VOD真空吹氧脫碳。

　　一個以半導體工業(yè)為代表，它要求真空泵返回泵送空間的流量為零，以保護工件免受污染。半導體行業(yè)對真空系統(tǒng)的要求大致分為三個層次。

　　在清潔條件下排氣，僅干燥空氣或含有少量水蒸氣的空氣。

　　在適當?shù)臈l件下，泵出反應氣體的過程中，但沒有固體顆粒。

　　在惡劣條件下排氣，去除化學反應物(有毒甚至致癌)和固體顆粒。

　　另一種以石化工業(yè)為代表，它需要真空泵來除去可冷凝氣體、腐蝕性氣體、有毒氣體或含有細粉塵的氣體。干式螺桿真空泵廣泛應用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領域。在半導體工業(yè)中，它用于生產芯片、制造液晶顯示器、蝕刻和生產等離子體。

　　用于真空采集，在化學工業(yè)中，用于真空蒸餾和溶劑萃取以有效回收溶劑，在脂肪酸生產中用于消除水污染和消除噴射器堵塞;在制藥工業(yè)中，它用于回收液體藥物和藥物中間體，為人造器官的生產提供清潔和無菌的條件，并回收氣體消毒劑;在食品工業(yè)中，它用于香料和香精的濃縮，食品包裝等。